发明名称 VERFAHREN ZUM ANBRINGEN EINES LEITERSCHICHTMUSTERS MIT IN GERINGEM GEGENSEITIGEN ABSTAND LIEGENDEN TEILEN, INSBESONDERE BEI DER HERSTELLUNG VON HALBLEITERANORDNUNGEN
摘要
申请公布号 DE2547447(A1) 申请公布日期 1976.04.29
申请号 DE19752547447 申请日期 1975.10.23
申请人 N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN 发明人 LEONARDUS PEEK,HERMANUS
分类号 H01L29/762;H01L21/00;H01L21/285;H01L21/339;H01L23/485;H01L29/423;H01L29/768;(IPC1-7):01L21/90 主分类号 H01L29/762
代理机构 代理人
主权项
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