发明名称 ACTIVE LIGHT-SENSITIVE OR RADIATION-SENSITIVE RESIN COMPOSITION ACTIVE LIGHT-SENSITIVE OR RADIATION-SENSITIVE FILM USING SAME PATTERN FORMATION METHOD PRODUCTION METHOD FOR ELECTRONIC DEVICE AND ELECTRONIC DEVICE
摘要 수지 (A), 및 활성광선 또는 방사선의 조사에 의하여 산을 발생시키는 광산발생제 (B)를 함유하는 감활성광선성 또는 감방사선성 수지 조성물이며, 광산발생제 (B)로서, 하기 일반식 (1)로 나타나는 광산발생제 (B1)과, 광산발생제 (B1)과는 다른 광산발생제 (B2)를 적어도 함유하는 감활성광선성 또는 감방사선성 수지 조성물이다.
申请公布号 KR20160135124(A) 申请公布日期 2016.11.24
申请号 KR20167028946 申请日期 2015.04.10
申请人 FUJIFILM CORPORATION 发明人 GOTO AKIYOSHI;SHIRAKAWA MICHIHIRO;KATO KEITA;YOSHINO FUMIHIRO;YAMAMOTO KEI
分类号 G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039;G03F7/20 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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