发明名称 ZETSUENGEETODENKAIKOKATORANJISUTANO SEIZOHO
摘要
申请公布号 JPS5162676(A) 申请公布日期 1976.05.31
申请号 JP19740136176 申请日期 1974.11.29
申请人 HITACHI LTD 发明人 SAKAI YOSHIO;KUBO SEIJI;HORI RYOICHI;MINATO OSAMU
分类号 H01L27/08;H01L21/265;H01L29/78;H01L29/786 主分类号 H01L27/08
代理机构 代理人
主权项
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