发明名称 (B C) ;AVSOEKNINGSANORDNING, SAERLIG FOR ANVENDELSE VED FREMSTILLING AV MASKER FOR ELEKTRISKE MIKROKRETSER
摘要
申请公布号 NO760460(A) 申请公布日期 1976.08.16
申请号 NO19760000460 申请日期 1976.02.12
申请人 WESTERBERG GERHARD 发明人 WESTERBERG GERHARD
分类号 H01L21/30;G02B26/10;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H05K/ 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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