| 摘要 |
본 발명에 따라서 전이금속 칼코제나이드 박막을 형성하는 방법이 제공된다. 상기 방법은 전이금속 박막이 형성된 제1 기판을 준비하는 단계와; 제2 기판을 상기 제1 기판과 대향한 채 연결 부재를 이용하여 상기 제1 기판과 연결하는 단계로서, 상기 제1 기판과 제2 기판 사이에 기체가 흐르는 통로가 형성되는 것인, 상기 연결 단계와; 상기 제1 및 제2 기판이 배치된 반응로의 온도를 반응 온도로 가열하는 가열 단계와; 상기 반응로의 일측으로부터 황 함유 가스를 흘려주어 상기 통로를 통해 흐르게 하는 단계를 포함하고, 상기 가열 단계 중에 상기 전이금속 박막의 일부가 증발하여 전이금속 가스가 제2 기판을 향해 상승하고, 이 전이금속 가스가 상기 황 함유 가스와 반응하여 상기 제2 기판의 표면에 전이금속 칼코제나이드 박막을 형성하는 것을 특징으로 한다. |
