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发明名称
摘要
申请公布号	JPS51120350(U)	申请公布日期	1976.09.29
申请号	JP19750042307U	申请日期	1975.03.28
申请人		发明人
分类号	C23C14/32;(IPC1-7):C23C13/08;C23C13/00	主分类号	C23C14/32
代理机构		代理人
主权项
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