发明名称 HEAT TREATMENT APPARATUS REGULATION METHOD OF HEAT TREATMENT APPARATUS AND PROGRAM
摘要 파라미터의 조정을 용이하게 행할 수 있는 열 처리 장치, 열 처리 장치의 조정 방법 및 프로그램을 제공한다. 제어부(50)는 복수의 평가 지표와, 각 평가 지표의 중요도와, 평가 함수의 값을 산출하는 횟수와, 초기 파라미터값을 포함하는 정보를 수신하고, 수신한 정보에 기초하여, 시뮬레이션을 실행한다. 다음에, 제어부(50)는 시뮬레이션 결과에 기초하여, 평가 함수의 값을 산출하고, 산출한 평가 함수의 값이 최소인지의 여부를 판별하여, 평가 함수의 값이 최소라고 판별되면, 파라미터를 갱신한다. 평가 함수의 값의 산출에 있어서는, 수신한 평가 함수의 값을 산출하는 횟수에 기초하여, 재차 평가 함수의 값을 산출한다. 또한, 제어부(50)는 재차 평가 함수의 값을 산출할 때에, 유전적 알고리즘에 의해 새로운 파라미터를 생성한다.
申请公布号 KR20160145492(A) 申请公布日期 2016.12.20
申请号 KR20160068977 申请日期 2016.06.02
申请人 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 发明人 노다 유토;야마구치 다츠야;마스나가 마사요시;요시이, 고지
分类号 H01L21/324;H01L21/66;H01L21/67 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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