| 摘要 |
본 발명에 관한 산화물 반도체 평가 장치 및 그 방법에서는, 평가 대상의 산화물 반도체에, 소정 파장의 광과 소정의 측정파가 조사되고, 상기 산화물 반도체에서 반사된 상기 측정파의 반사파가 측정된다. 또한, 상기 산화물 반도체의 두께가 측정된다. 그리고, 이 측정된 상기 산화물 반도체의 두께에 기초하여, 상기 반사파의 강도가 보정된다. 따라서, 산화물 반도체 평가 장치 및 그 방법은, 상기 산화물 반도체의 두께도 또한 고려함으로써 상기 산화물 반도체의 이동도를 평가하므로, 더욱 고정밀도로 상기 산화물 반도체의 이동도를 평가할 수 있다. |
