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发明名称 PRODUCTION METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5225581(A) 申请公布日期 1977.02.25
申请号 JP19750101636 申请日期 1975.08.21
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 KOUKAI REIJI
分类号 H01L29/73;H01L21/225;H01L21/28;H01L21/331;H01L29/04;H01L29/08 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
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