| 发明名称 |
TRANSFER DEVICE OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE HOLDING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5245874(A) |
申请公布日期 |
1977.04.11 |
| 申请号 |
JP19750122111 |
申请日期 |
1975.10.09 |
| 申请人 |
NIPPON DENSO CO |
发明人 |
YAMAWAKI MASAO;AOKI KATSUO;OKA YOSHIO;SUZUKI TAKAO;INA OSAMU;HARA KUNIHIKO |
| 分类号 |
B65G35/00;H01L21/50;H01L21/677 |
主分类号 |
B65G35/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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