发明名称 INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPS5255874(A) 申请公布日期 1977.05.07
申请号 JP19750132045 申请日期 1975.10.31
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 SASAKI MASAYUKI
分类号 G01R31/28;G01R31/26;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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