发明名称
摘要
申请公布号 JPS5220210(B2) 申请公布日期 1977.06.02
申请号 JP19730036426 申请日期 1973.03.29
申请人 发明人
分类号 H01J9/233;H01L31/0264 主分类号 H01J9/233
代理机构 代理人
主权项
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