| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5267979(A) |
申请公布日期 |
1977.06.06 |
| 申请号 |
JP19750144726 |
申请日期 |
1975.12.04 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
NAGATA KAZUSHI;YAKUSHIJI HISAO |
| 分类号 |
H01L29/73;H01L21/265;H01L21/331;H01L29/08;H01L29/72 |
主分类号 |
H01L29/73 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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