发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS PRODUCTION
摘要
申请公布号 JPS52100975(A) 申请公布日期 1977.08.24
申请号 JP19760017070 申请日期 1976.02.20
申请人 HITACHI LTD 发明人 ODA MAKOTO;HITANO YOUICHI
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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