发明名称 METHOD OF FORMING THIN FILM OF GLASS BY VAPOR PHASE REACTION
摘要
申请公布号 JPS52107019(A) 申请公布日期 1977.09.08
申请号 JP19760023208 申请日期 1976.03.05
申请人 HITACHI LTD 发明人 YAMAZAKI TAKEO;KOSUGI TETSUO
分类号 C03C17/02 主分类号 C03C17/02
代理机构 代理人
主权项
地址