| 发明名称 |
ELECTRONIC BEAM EXPOSURE UNIT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS52117573(A) |
申请公布日期 |
1977.10.03 |
| 申请号 |
JP19760034180 |
申请日期 |
1976.03.30 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO |
发明人 |
HORI KOUHEI |
| 分类号 |
H01J37/20;H01J37/30;H01J37/305;H01L21/027;H01L21/26;H01L21/48 |
主分类号 |
H01J37/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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