发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS PRODUCTION |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS52135274(A) |
申请公布日期 |
1977.11.12 |
申请号 |
JP19770052090 |
申请日期 |
1977.05.09 |
申请人 |
KOGYO GIJUTSUIN |
发明人 |
HAYASHI YUTAKA;TARUI YASUO |
分类号 |
H01L21/8236;H01L21/336;H01L27/04;H01L27/088;H01L29/78 |
主分类号 |
H01L21/8236 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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