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发明名称 PROCESS OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS52141592(A) 申请公布日期 1977.11.25
申请号 JP19760058738 申请日期 1976.05.20
申请人 FUJITSU LTD 发明人 ITOGA MASANAO;SERIKANO MAKOTO
分类号 H01L21/768;H01L21/28;H01L23/522 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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