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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS PRODUCTION
摘要
申请公布号 JPS52147066(A) 申请公布日期 1977.12.07
申请号 JP19760063607 申请日期 1976.06.02
申请人 HITACHI LTD 发明人 NOZAKI WATARU
分类号 H01L21/60;H01L21/58 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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