| 发明名称 |
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS52153675(A) |
申请公布日期 |
1977.12.20 |
| 申请号 |
JP19760069715 |
申请日期 |
1976.06.16 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO |
发明人 |
SHINADA KAZUYOSHI;SHINOZAKI SATOSHI;MASUOKA FUJIO |
| 分类号 |
H01L27/082;H01L21/265;H01L21/331;H01L21/8226;H01L27/04;H01L29/08;H01L29/72;H01L29/73 |
主分类号 |
H01L27/082 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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