发明名称 COLLET FOR DIE BONDING
摘要
申请公布号 JPS52156558(A) 申请公布日期 1977.12.27
申请号 JP19760073145 申请日期 1976.06.23
申请人 HITACHI LTD 发明人 NAKANE TAKAO;MATSUOKA AKIRA
分类号 H01L21/677;H01L21/58;H01L21/68 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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