| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR GAS PHASE GROWTH OF GAAS SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS532392(A) |
申请公布日期 |
1978.01.11 |
| 申请号 |
JP19760076764 |
申请日期 |
1976.06.29 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO |
发明人 |
ISHIDA KAZUJI |
| 分类号 |
C30B25/12;C30B29/40;C30B29/42;C30B31/14;H01L21/205 |
主分类号 |
C30B25/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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