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发明名称 METHOD OF PROCESSING ION CRYSTALS
摘要
申请公布号 SU557699(A1) 申请公布日期 1978.03.05
申请号 SU19762313734 申请日期 1976.01.12
申请人 NII YADERNOJ FIZ,ÜóEKTPOHôKô ô ABTOMATôKô üPô TOMCKOM üOóôTEXHôÚECKOM ôHCTôTYTE ôM.C.M.KôPOBA 发明人 VOROBEV A.A.,SU;AREFEV K.P.,SU;VOROBEV S.A.,SU;AREFEV V.P.,SU
分类号 H01L21/26;G21G1/06;(IPC1-7):H01L21/26 主分类号 H01L21/26
代理机构 代理人
主权项
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