| 发明名称 |
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5347779(A) |
申请公布日期 |
1978.04.28 |
| 申请号 |
JP19760122601 |
申请日期 |
1976.10.13 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP;HANDOTAI KENKYU SHINKOKAI |
发明人 |
NISHIZAWA JIYUNICHI;YAMAMOTO KENJI;ITOU AKIRA;HIGAKI YUKIO |
| 分类号 |
H01L29/80;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/31;H01L21/3205;H01L21/331;H01L21/337;H01L29/417;H01L29/73;H01L29/808 |
主分类号 |
H01L29/80 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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