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发明名称 IMPURITY GETTERING METHOD
摘要
申请公布号 JPS5352355(A) 申请公布日期 1978.05.12
申请号 JP19760127229 申请日期 1976.10.25
申请人 HITACHI LTD 发明人 SHIMIZU NOBUO
分类号 H01L21/322;H01L21/324 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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