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发明名称
摘要
申请公布号 JPS5314342(B2) 申请公布日期 1978.05.17
申请号 JP19720097448 申请日期 1972.09.28
申请人 发明人
分类号 C30B25/02;C23C16/30;C30B29/40;H01L21/205;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/20;B01J17/22;C23C11/00 主分类号 C30B25/02
代理机构 代理人
主权项
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