发明名称 MASKING METHOD
摘要
申请公布号 JPS5361532(A) 申请公布日期 1978.06.02
申请号 JP19760138214 申请日期 1976.11.16
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 NISHIOKA SUNAO;TAKANO HIROZOU
分类号 C23F1/00;C23F1/02;G03F7/20;H01L21/302 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
主权项
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