| 摘要 |
본 발명은, 토출(吐出) 장치의 이동 속도를 변경하지 않고, 토출량의 변화를 보정하고, 또한 도포 형상을 안정시킬 수 있는 액체 재료의 충전 방법, 그 장치 및 프로그램을 제공하는 것을 목적으로 한다. 본 발명은, 기판과 공작물과의 간극(間隙)에 모세관 현상을 이용하여 액체 재료를 충전하는 방법으로서, 연속된 복수 개의 도포 영역으로 이루어지는 도포 패턴을 작성하는 공정과, 각 도포 영역에 토출 펄스의 수와 휴지(休止) 펄스의 수를 소정 비율로 조합한 토출 사이클을 복수 할당하는 공정과, 보정 주기로 토출량을 계측하고, 토출량의 보정량을 산출하는 공정을 포함하고, 또한 산출한 보정량에 기초하여, 도포 패턴에 포함되는 토출 펄스와 휴지(休止) 펄스의 수를 조정하는 공정, 및/또는, 적어도 1의 도포 영역과 연속되는 다른 도포 영역의 길이를, 각 도포 영역에서의 단위 시간당의 토출량을 변경하지 않고 조정하는 공정을 포함하는, 액체 재료의 충전 방법, 그 장치 및 프로그램에 관한 것이다. |
