| 发明名称 |
MONITORING DEVICE OF CHARGED PARTICLE BEAM RADIATION APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5385175(A) |
申请公布日期 |
1978.07.27 |
| 申请号 |
JP19770000667 |
申请日期 |
1977.01.06 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
TSUKAMOTO KATSUHIRO;OOGA HIROTOMO |
| 分类号 |
H01J37/317;G01R31/302;G21K5/00;G21K5/04;H01L21/027;H01L21/26;H01L21/265;H01L21/66 |
主分类号 |
H01J37/317 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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