发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5385166(A) 申请公布日期 1978.07.27
申请号 JP19770000032 申请日期 1977.01.05
申请人 HITACHI LTD 发明人 TANIDA YUUJI;SUNAMI HIDEO;WADA YASUO
分类号 H01L21/316;H01L21/31 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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