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发明名称
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPS5385166(A)
申请公布日期
1978.07.27
申请号
JP19770000032
申请日期
1977.01.05
申请人
HITACHI LTD
发明人
TANIDA YUUJI;SUNAMI HIDEO;WADA YASUO
分类号
H01L21/316;H01L21/31
主分类号
H01L21/316
代理机构
代理人
主权项
地址
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