发明名称
摘要
申请公布号 JPS5397964(U) 申请公布日期 1978.08.09
申请号 JP19770001234U 申请日期 1977.01.11
申请人 发明人
分类号 H01L21/68;H01L21/301;H01L21/302;H01L21/461;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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