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发明名称
摘要
申请公布号
JPS53106671(U)
申请公布日期
1978.08.26
申请号
JP19770010860U
申请日期
1977.01.31
申请人
发明人
分类号
H01L21/60;H01L21/58;H01L23/12;(IPC1-7):H01L23/12
主分类号
H01L21/60
代理机构
代理人
主权项
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