发明名称 CRYSTAL DEPOSITING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS53108072(A) 申请公布日期 1978.09.20
申请号 JP19770022624 申请日期 1977.03.04
申请人 HITACHI LTD 发明人 SASAKI TAKUYA
分类号 B01D9/02 主分类号 B01D9/02
代理机构 代理人
主权项
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