发明名称
摘要
申请公布号 JPS53124646(U) 申请公布日期 1978.10.04
申请号 JP19770029640U 申请日期 1977.03.14
申请人 发明人
分类号 H01L21/288;H01L21/445;(IPC1-7):H01L21/288 主分类号 H01L21/288
代理机构 代理人
主权项
地址