| 发明名称 |
PROCESSING METHOD OF SEMICONDUCTOR COMPOUND SUBSTANCE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS53135273(A) |
申请公布日期 |
1978.11.25 |
| 申请号 |
JP19770050308 |
申请日期 |
1977.04.30 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
OKAJIMA YOSHIAKI;KOYAMA SUSUMU;YATSUNO KOUMEI |
| 分类号 |
H01L21/308;H01L21/304;H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/308 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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