| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS53138283(A) |
申请公布日期 |
1978.12.02 |
| 申请号 |
JP19770052645 |
申请日期 |
1977.05.10 |
| 申请人 |
OKI ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
KOBAYASHI TAKASUMI;INO MASAYOSHI;YOSHIDA HIROYUKI |
| 分类号 |
H01L21/8236;H01L21/301;H01L21/78;H01L27/088 |
主分类号 |
H01L21/8236 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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