| 发明名称 |
PRODUCTION OF SEMICONUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5416979(A) |
申请公布日期 |
1979.02.07 |
| 申请号 |
JP19770081637 |
申请日期 |
1977.07.07 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
MITSUOKA HIROSHI;MAKIGUCHI MASAO;OOSUGA YOSHIHARU |
| 分类号 |
H01L21/52;H01L21/28;H01L21/58;H01L23/34 |
主分类号 |
H01L21/52 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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