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发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号 JPS5419675(A) 申请公布日期 1979.02.14
申请号 JP19770084249 申请日期 1977.07.15
申请人 HITACHI LTD 发明人 KANEGAE MASAMI;ANZAI AKIO
分类号 H01L21/76;H01L21/22;H01L21/331;H01L29/72;H01L29/73 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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