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发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5420668(A) 申请公布日期 1979.02.16
申请号 JP19770085434 申请日期 1977.07.15
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 ITOGA KEIJI;YAMANE MASAHIRO
分类号 H01L21/56;H01L21/50 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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