发明名称 MANUFACTURING UNIT FOR SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS5432270(A) 申请公布日期 1979.03.09
申请号 JP19770098247 申请日期 1977.08.18
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 KAWAKAMI JIHEI
分类号 H01L21/677;H01L21/30;H01L21/68 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
地址