发明名称 SILICON COMPOSITE BY EPITAXIAL GROWTH
摘要
申请公布号 JPS5446181(A) 申请公布日期 1979.04.11
申请号 JP19780106938 申请日期 1978.08.31
申请人 RCA CORP 发明人 CHIYAARUZU EDOWAADO UEITSUERU;RONARUDO TOOMASU SUMISU
分类号 C30B19/12;C30B29/06;H01L21/20;H01L21/86;H01L29/786 主分类号 C30B19/12
代理机构 代理人
主权项
地址