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发明名称 METHOD OF FORMING PATTERN
摘要
申请公布号 JPS5460570(A) 申请公布日期 1979.05.16
申请号 JP19770127453 申请日期 1977.10.24
申请人 CHO LSI GIJUTSU KENKYU KUMIAI 发明人 JINNO KIYOKATSU
分类号 H01L21/027;H01L21/302 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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