| 发明名称 |
MANUFACTURE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5461489(A) |
申请公布日期 |
1979.05.17 |
| 申请号 |
JP19770127566 |
申请日期 |
1977.10.26 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO |
发明人 |
KOMATSU SHIGERU;INOUE HIROSHI |
| 分类号 |
H01L21/8222;H01L21/225;H01L21/285;H01L21/3215;H01L21/331;H01L27/082;H01L29/73 |
主分类号 |
H01L21/8222 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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