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发明名称
ETCHING TOOL
摘要
申请公布号
JPS5461473(A)
申请公布日期
1979.05.17
申请号
JP19770127508
申请日期
1977.10.26
申请人
HITACHI LTD
发明人
YOKOYAMA HIROSHI;YAMANAKA AKEMI
分类号
H01L21/306;H01L21/302
主分类号
H01L21/306
代理机构
代理人
主权项
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