| 发明名称 |
HEAT TREATMENT METHOD OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE AND ITS UNIT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5475985(A) |
申请公布日期 |
1979.06.18 |
| 申请号 |
JP19770143455 |
申请日期 |
1977.11.29 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
NAKASHIMA TATSUNORI;KAJIWARA KOUSEI;OGAWA KUNI;YASUNO KOUSUKE |
| 分类号 |
H01L21/673;H01L21/22;H01L21/324 |
主分类号 |
H01L21/673 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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