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发明名称
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPS5493971(A)
申请公布日期
1979.07.25
申请号
JP19780000625
申请日期
1978.01.06
申请人
NIPPON ELECTRIC CO
发明人
NAKAMURA KUNIO
分类号
H01L21/3205;H01L21/302;H01L21/306
主分类号
H01L21/3205
代理机构
代理人
主权项
地址
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