发明名称 CONTACT FORMING METHOD
摘要
申请公布号 JPS54101292(A) 申请公布日期 1979.08.09
申请号 JP19780007263 申请日期 1978.01.27
申请人 HITACHI LTD 发明人 MEGURO SATOSHI
分类号 H01L23/522;H01L21/768 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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