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发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS54103672(A) 申请公布日期 1979.08.15
申请号 JP19780010947 申请日期 1978.02.01
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 NAKAMURA KUNIO
分类号 H01L21/768;H01L21/28 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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