发明名称 ELECTRODE STRUCTURE FOR SEMICONDUCTOR WAFER PLASMA ETCHING STRIPPING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS54128284(A) 申请公布日期 1979.10.04
申请号 JP19780036399 申请日期 1978.03.29
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 OGI HITOSHI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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