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经营范围
发明名称
ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号
JPS553634(A)
申请公布日期
1980.01.11
申请号
JP19780075060
申请日期
1978.06.20
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD
发明人
ISHIKAWA OONORI
分类号
H01L21/302
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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